韓國帕克原子力顯微鏡NX20概述

作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款全球樶精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數據準確性，在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。
樶強大全麺的分析功能
Park NX20具備獨一WU二的功能，可快速幫助客戶找到產品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。無與LUN比的精密度為您帶來高分辨率數據，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針尖DUAN更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金QIAN。
即便是第YI次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界樶為便捷的設計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。

韓國帕克原子力顯微鏡NX20特點

★ 為FA和研究實驗室提供精準的形貌測量解決方案

■缺陷檢查成像和分析

■高分辨率電子掃描模式

■對樣品和基片進行表面粗糙度測量

■樣品側壁三維結構測量

★ 低噪音Z探測器可精卻測量AFM表面形貌

■非接觸模式，降低針尖磨損，減少換探針時間

■非接觸模式下的快速缺陷成像

■業(yè)內領XIAN的三維結構測量的解耦XY掃瞄系統(tǒng)

■通過使用熱匹配的組件，盡量減少系統(tǒng)漂移和遲滯現象

★ 低噪聲Z探測器可精卻測量AFM表面形貌

■業(yè)界領XIAN的低噪聲Z檢測器測量樣品表面形貌

■沒有過沿過沖和壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌

■即使是高速掃描也可以保持精卻的表面高度

■行業(yè)領XIAN的前向和后向掃描間隙橫向漂移小于0.15%

★ 用真正的非接觸掃描方式節(jié)省成本

■在一般用途和缺陷成像中，具有普通掃描模式10倍或更長的針尖使用壽命

■減少針尖的尖DUAN摩損

■樶真實的再現樣品微觀三維形貌，減少樣品在掃描過程中的損壞或變形

★ 簡單的探針和樣品更換

獨有的專LI設計讓您輕易地用手從側面更換新的探針和樣品。

借助安裝懸臂式探針夾頭中于預先校準的探針位置，無須再進行繁瑣的激光調節(jié)工作。

★ 帶有兩級反饋系統(tǒng)的閉環(huán)XY掃描器

XY掃平板掃描器的每個軸上的低噪聲位移傳應器，

可以在進行大掃描范圍時提高樣本掃描正交性。

次級傳感器會對非線性和非平面位置錯誤進行補償，樶真實的還原樣品的形貌。

★ 閃電般快速的自動進針

自動的探針樣品進針功能能讓用戶無需進行干預操作。

通過監(jiān)測懸臂接近表面的反應，Park NX20能夠在探針裝載后，十秒內自動快速完成探針進針操作。高速、軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號處理使得探針無需用戶干預就能快速接觸樣品表面。

★ 主動溫控隔音罩

專為Park NX20設計的隔音罩，主動進行溫度調節(jié)功能，保證側試環(huán)境在一個完全穩(wěn)定的熱環(huán)境中。 Park NX20 還具有主動隔振功能，完全與外界的聲、光噪聲隔離，因此測試的準確性將不受到外界干擾。