日本日立中型掃描電鏡SU3800概述

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

標(biāo)配多功能超大樣品倉，支持大型樣品分析

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品

GUI上顯示更換樣品的操作步驟?？梢员苊庖蛉藶榈恼`操作而導(dǎo)致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品，也能夠輕松更換。

樣品交換倉*

選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率

具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*

SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式，開放了樣品臺移動的自由度。操作人員可自行判斷，自由移動樣品臺。

※選擇樣品臺自由模式時，請同時選配紅外CCD探測器。

紅外CCD探測器*，提高了樣品臺移動的**性

紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機(jī)，可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情況。為了獲得更詳細(xì)的位置，放大CCD圖像，并且移動觀察位置。

*配件

■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)

與GUI聯(lián)合的SEM MAP，正是因?yàn)椴捎昧藰悠穫}室導(dǎo)航相機(jī)，才得以實(shí)現(xiàn)廣角相機(jī)導(dǎo)航功能*。在SEM MAP上指定觀察目標(biāo)位置，可以順利地移動到任意指定位置上。使用大視野相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像，通過自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色TU像切換到高倍率的SEM圖像。*配件

覆蓋整個可觀察區(qū)域

相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域?yàn)橹睆?30mm(SU3800)/ 直徑200mm(SU3900)，并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動，移動到大型樣品的樶大觀察區(qū)域。

支持360度旋轉(zhuǎn)

SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系，因此在觀察高度差大的樣品時，可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或電子束來獲得樶佳的觀察分析位置，避免陰影效應(yīng)造成的影響。

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

搭載了簡約UI，簡單操作，如同觸屏般直觀。

從移動樣品臺到樣品觀察，輕輕點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn)

也可觸屏操作

主窗口為1280×960像素的大窗口

可以切換顯示模式，并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號

■各種自動化功能

自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

樣品安裝完成后，通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動化功能采用全新設(shè)計的演算程序，在執(zhí)行圖像自動調(diào)整功能時，等待時間縮短到以往的1/ 3以下。

采用了新的算法，提高了自動聚焦精度

全新升級的自動聚焦調(diào)整功能，即使是以往難以調(diào)整的光滑樣品，也能夠輕松得到良好的圖像。

搭載Intelligent Filament Technology(IFT)

自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài)，自動控制使其一直處于樶佳性能的狀態(tài)。

搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏。

通過該功能，使得原來難以對應(yīng)的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實(shí)現(xiàn)。

■Multi Zigzag*，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野?？梢栽诓煌囊曇爸信臄z多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像，創(chuàng)建大視野圖像。

*配件

Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告

在Report Creator中，可以將SEM圖像，EDS數(shù)據(jù)和CCD相機(jī)圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合，生成報告。創(chuàng)建的報告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯。

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察

SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外，還可以通過檢測電子束照射樣品而產(chǎn)生的陰極熒光，來獲取CL信息。

高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像。

通過采用4分割+1單元的設(shè)計，對每個單元進(jìn)行計算，無需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設(shè)計十分精巧，且靈敏度高，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比。

■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件

SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

■SEM/EDS一體化功能*

SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能，通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設(shè)置、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過SEM的全麺控制，可以提高測試效率，減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)。

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當(dāng)中的4個不同方向的SEM信號進(jìn)行演算分析，生成三維圖像。支持2點(diǎn)間高度、體積和簡易表面粗糙度(面粗糙度、線粗糙度)測量。可一次性接收四個不同方向的信號，因此，無需傾斜樣品臺或合成圖像。

■支持圖像測量軟件Image pro

SU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下，即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件。

日本日立中型掃描電鏡SU3800特點(diǎn)

SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察
★ 樣品臺可搭載超大/超重樣品
——通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
——選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
——具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
——紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的**性
★ 支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
——與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
——覆蓋整個可觀察區(qū)域
——支持360度旋轉(zhuǎn)
隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
★ 一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
★ 各種自動化功能
——自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
——提高了自動聚焦精度
——搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
★ Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
★ Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案
★ 可滿足多種觀察需求的探測器
——搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
——高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像
★ 配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件
——SEM/EDS一體化功能*
★ 三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
★ 支持圖像測量軟件Image pro
*配件